USE
可用于光刻样品旋涂光刻胶。
在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上。膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度。
本台设备支持最小尺寸1cm*1cm，最大尺寸8 Inch的样品。
Technical indicators
1cm-20cm；
0-6000转；
≤0.5% 。配备最高温度300℃的加热台。
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